TY  - THES 
A3  - Castán Lanaspa, María Helena
A3  - García García, Héctor
AU  - Fuentes Díaz, Lissa María
PY  - 2014
UR  - http://uvadoc.uva.es/handle/10324/8036
AB  - El impulso acelerado de la industria microelectrónica ha conducido al empleo de
dieléctricos de alta permitividad (K) como una alternativa para continuar el escalado.
Tanto en aplicaciones espaciales, médicas, como de física de alta energía los...
LA  - spa
KW  - Dieléctricos
KW  - Microelectrónica - Materiales
TI  - Estudio de capas delgadas de dieléctricos de alta permitividad depositadas por ALD
M3  - info:eu-repo/semantics/masterThesis
ER  -