Browsing Grupos de Investigación by Subject "Deposición de capas atómicas"

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Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone

Kalam, Kristjan; Rammula, Raul; Ritslaid, Peeter; Käämbre, Tanel; Link, Joosep; Stern, Raivo; Vinuesa Sanz, Guillermo; Dueñas Carazo, Salvador ; Castán Lanaspa, María Helena ; Tamm, Aile; Kukli, Kaupo (2021)