RT info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
T1 Estudio mediante catodoluminiscencia del grabado seco sobre InP para fabricar guías de onda
A1 Belloso Casuso, Cantia
A2 Universidad de Valladolid. Facultad de Ciencias
K1 Guías de onda
K1 InP
K1 Grabado seco
K1 Catodoluminiscencia
AB El grabado seco por Plasma Inducido (ICP) permite fabricar estructuras con alta relación de aspecto en semiconductores. En particular, es bastante común fabricar mediante este procedimiento guías de onda y cavidades para los láseres de diodo. En este trabajo, se hace un estudio de guías de onda fabricadas por Plasma Inducido (Inductively Coupled Plasma-ICP) en InP mediante la técnica de catodoluminiscencia (CL), resuelta espectral y espacialmente. Los efectos secundarios del grabado seco son la formación de defectos y la introducción de tensiones mecánicas residuales que tienen efectos negativos en la propagación de la luz, al modificar el índice de refracción por efecto fotoelástico, y en la polarización de la luz. En este trabajo, se presenta la descripción de la técnica de grabado, el fundamento teórico que sirve como base para analizar las medidas de CL, así como resultados obtenidos, su discusión y perspectivas futuras.
YR 2020
FD 2020
LK http://uvadoc.uva.es/handle/10324/44447
UL http://uvadoc.uva.es/handle/10324/44447
LA spa
DS UVaDOC
RD 24-nov-2024