TY  - THES 
A3  - Bailón Vega, Luis Alberto
A3  - Arias Álvarez, Jesús
AU  - Hernández Mangas, Jesús Manuel
PY  - 2000
UR  - http://uvadoc.uva.es/handle/10324/123
AB  - Uno de los procesos de la Tecnología Microelectrónica (fabricación de Circuitos Integrados) cuya  finalidad principal es la impurificación precisa del material, es la implantación iónica, sin que esta sea su única utilidad.
La implantación iónica...
LA  - spa
KW  - Iones-Implantación
KW  - Circuitos integrados - Diseño y construcción
KW  - Semiconductores
TI  - Simulación de la implantación iónica en semiconductores
M3  - info:eu-repo/semantics/doctoralThesis
DO  - 10.35376/10324/123
ER  -