TY - THES A3 - Dueñas Carazo, Salvador A3 - Álvarez Fernández, Sergio AU - Sánchez Álvarez, Gonzalo PY - 2025 UR - https://uvadoc.uva.es/handle/10324/79080 AB - En este trabajo de Fin de Máster se estudian diferentes parámetros físicos de unas muestras de estructuras MOS con el objetivo de caracterizar el óxido de silicio empleado. en concreto, se busca comparar la calidad de los óxidos en función de... AB - In this Master's Thesis, the various physical parameters of MOS structure samples are studied with the aim of characterizing the silicon oxide employed. Specifically, the objective is to compare the quality of the oxides based on different parameters,... LA - spa KW - Óxido térmico KW - Silicio KW - Pasivante TI - Caracterización de la calidad del óxido térmico (SiO2) crecido sobre sustratos de silicio en FEL para su optimización como capa pasivante M3 - info:eu-repo/semantics/masterThesis ER -