TY  - THES 
A3  - Pelaz Montes, María Lourdes
A3  - Santos Tejido, Iván
AU  - Muñoz Velasco, Irene
PY  - 2021
UR  - https://uvadoc.uva.es/handle/10324/50733
AB  - La implantación iónica en Si tiene un amplio rango de aplicaciones en el sector tecnológico,
desde microprocesadores hasta células solares. Los simuladores atomísticos existentes
describen correctamente este proceso en el rango de bajas y medias...
AB  - Ion implantation in Si has a wide range of applications in the technological sector, from
microprocessors to solar cells. Current simulators describe this process correctly in the range of
low and medium implantation energies but not in the high...
LA  - spa
KW  - Irradiación
KW  - Implantación iónica
KW  - Altas energías
TI  - Modelado atomístico de las implantaciones de alta energía en silicio
M3  - info:eu-repo/semantics/bachelorThesis
ER  -