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Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: http://uvadoc.uva.es/handle/10324/32298
Título: Atomistic study of the anisotropic interaction between extended and point defects in crystalline silicon and its influence on Si self-interstitial diffusion
Autor: Santos Tejido, Iván
Aboy Cebrián, María
Marqués Cuesta, Luis Alberto
López Martín, Pedro
Ruiz Prieto, Manuel
Pelaz Montes, María Lourdes
Hernández-Díaz, A. M.
Castrillo, P.
Congreso: 2016 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD)
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD 2016)
Año del Documento: 2016
Editorial: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Descripción: Producción Científica
Documento Fuente: 2016 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Nuremberg, 2016, p. 35-37
Resumen: In this work we propose a methodology to analyze the elastic energy interaction at the atomic level between Si self-interstitials and extended defects in crystalline Si. The representation of this energy in maps in 2D planes shows the anisotropic nature of the elastic interaction. This elastic energy maps can be used to understand diffusion trajectories of Si self-interstitials around extended defects obtained from classical molecular dynamics simulations. The combined analysis of these trajectories and the elastic energy maps shows preferential capture directions around extended defects.
Palabras Clave: Simulaciones atomísticas
Silicio cristalino
Atomistic simulations
Crystalline silicon
ISBN: 978-1-5090-0818-6
DOI: https://doi.org/10.1109/SISPAD.2016.7605142
Patrocinador: Ministerio de Ciencia e Innovación (Proyect TEC2014-60694-P)
Junta de Castilla y León (programa de apoyo a proyectos de investigación - Ref. VA331U14)
Version del Editor: https://ieeexplore.ieee.org/document/7605142
Idioma: eng
URI: http://uvadoc.uva.es/handle/10324/32298
Derechos: info:eu-repo/semantics/openAccess
Aparece en las colecciones:Electrónica - Comunicaciones a congresos, conferencias, etc.
DEP22 - Comunicaciones a congresos, conferencias, etc.

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