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Título
On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon
Autor
Año del Documento
2018
Editorial
Elsevier
Descripción
Producción Científica
Documento Fuente
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2018, Volume 458, Pages 179-183
Résumé
We combine focused experiments with molecular dynamics simulations to investigate in detail the formation of {001} loops in nanosecond laser-annealed silicon. We demonstrate that at temperatures close to the melting point, self-interstitial rich silicon is driven into dense liquid-like droplets that are highly mobile within the solid crystalline matrix. These liquid droplets grow by a coalescence mechanism and eventually transform into {0 0 1} loops through a liquid-to-solid phase transition in the nanosecond timescale.
Palabras Clave
Dinámica molecular
Silicio
Molecular dynamics
Silicon
Revisión por pares
SI
Patrocinador
Ministerio de Ciencia e Innovación (Proyect TEC2014-60694-P)
Junta de Castilla y León (programa de apoyo a proyectos de investigación - Ref. VA119G18)
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Version del Editor
Idioma
eng
Derechos
openAccess
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