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Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem: http://uvadoc.uva.es/handle/10324/32405
Título: On the anomalous generation of {0 0 1} loops during laser annealing of ion-implanted silicon
Autor: Marqués Cuesta, Luis Alberto
Aboy Cebrián, María
Santos Tejido, Iván
López Martín, Pedro
Cristiano, Fuccio
La Magna, Antonino
Huet, Karim
Tabata, Toshiyuki
Pelaz Montes, María Lourdes
Año del Documento: 2018
Editorial: Elsevier
Descripción: Producción Científica
Documento Fuente: Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2018 (In Press)
Resumen: We combine focused experiments with molecular dynamics simulations to investigate in detail the formation of {0 0 1} loops in nanosecond laser-annealed silicon. We demonstrate that at temperatures close to the melting point, self-interstitial rich silicon is driven into dense liquid-like droplets that are highly mobile within the solid crystalline matrix. These liquid droplets grow by a coalescence mechanism and eventually transform into {0 0 1} loops through a liquid-to-solid phase transition in the nanosecond timescale.
Palabras Clave: Dinámica molecular
Silicio
Molecular dynamics
Silicon
Revisión por Pares: SI
DOI: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2018.09.030
Patrocinador: Ministerio de Ciencia e Innovación (Proyect TEC2014-60694-P)
Junta de Castilla y León (programa de apoyo a proyectos de investigación - Ref. VA119G18)
Version del Editor: https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0168583X18305639
Idioma: eng
URI: http://uvadoc.uva.es/handle/10324/32405
Derechos: info:eu-repo/semantics/openAccess
Aparece en las colecciones:Electrónica - Artículos de revista
DEP22 - Artículos de revista

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