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Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit307

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Efficient and stable activation by microwave annealing of nanosheet silicon doped with phosphorus above its solubility limit98

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septiembre 20249
octubre 202431
noviembre 202416
diciembre 202424
enero 202513
febrero 20255
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  • septiembre 2024
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Ashburn2