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    Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:https://uvadoc.uva.es/handle/10324/65970

    Título
    Magnetic and Electrical Performance of Atomic Layer Deposited Iron Erbium Oxide Thin Films
    Autor
    Tamm, Aile
    Kalam, Kristjan
    Seemen, Helina
    Kozlova, Jekaterina
    Kukli, Kaupo
    Aarik, Jaan
    Link, Joosep
    Stern, Raivo
    Dueñas Carazo, SalvadorAutoridad UVA Orcid
    Castán Lanaspa, María HelenaAutoridad UVA Orcid
    Año del Documento
    2017
    Editorial
    ACS Omega
    Descripción
    Producción Científica
    Documento Fuente
    ACS Omega, 2017, Vol.2, n. 12, p. 8836–8842
    Resumen
    Mixed films of a high-permittivity oxide, Er2O3, and a magnetic material, Fe2O3, were grown by atomic layer deposition on silicon and titanium nitride at 375 °C using erbium diketonate, ferrocene, and ozone as precursors. Crystalline phases of erbium and iron oxides were formed. Growth into three-dimensional trenched structures was demonstrated. A structure deposited using tens to hundreds subsequent cycles for both constituent metal oxide layers promoted both charge polarization and saturative magnetization compared to those in the more homogeneously mixed films.
    Palabras Clave
    Deposition
    Layers
    Magnetic properties
    Oxides
    Thin films
    ISSN
    2470-1343
    Revisión por pares
    SI
    DOI
    10.1021/acsomega.7b01394
    Patrocinador
    This work was supported, partially, by the European Regional Development Fund project TK134 “Emerging orders in quantum and nanomaterials”, Estonian Ministry of Education and Research (IUT2-24), Estonian Academy of Sciences (SLTFYUPROF), and Spanish Ministry of Economy and Competitiveness through the project TEC2014-52152-C3-3-R with support of Feder funds
    Version del Editor
    https://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsomega.7b01394
    Idioma
    spa
    URI
    https://uvadoc.uva.es/handle/10324/65970
    Tipo de versión
    info:eu-repo/semantics/publishedVersion
    Derechos
    openAccess
    Aparece en las colecciones
    • GCME- Artículos de revista [57]
    Mostrar el registro completo del ítem
    Ficheros en el ítem
    Nombre:
    tamm-et-al-2017-magnetic-and-electrical-performance-of-atomic-layer-deposited-iron-erbium-oxide-thin-films.pdf
    Tamaño:
    2.520Mb
    Formato:
    Adobe PDF
    Thumbnail
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    CC0 1.0 UniversalLa licencia del ítem se describe como CC0 1.0 Universal

    Universidad de Valladolid

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