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    Por favor, use este identificador para citar o enlazar este ítem:http://uvadoc.uva.es/handle/10324/46598

    Título
    Atomic layer deposited nanolaminates of zirconium oxide and manganese oxide from manganese(III)acetylacetonate and ozone
    Autor
    Kalam, Kristjan
    Rammula, Raul
    Ritslaid, Peeter
    Käämbre, Tanel
    Link, Joosep
    Stern, Raivo
    Vinuesa Sanz, GuillermoAutoridad UVA Orcid
    Dueñas Carazo, SalvadorAutoridad UVA Orcid
    Castán Lanaspa, María HelenaAutoridad UVA Orcid
    Tamm, Aile
    Kukli, Kaupo
    Año del Documento
    2021
    Editorial
    IOP Publishing
    Descripción
    Producción Científica
    Documento Fuente
    Nanotechnology, 2021. In press. 27 p.
    Resumen
    Atomic layer deposition method was used to grow thin films consisting of ZrO2 and MnOx layers. All depositions were carried out at 300 ºC. Some deposition characteristics of the manganese(III)acetylacetonate and ozone process were investigated, such as crystallinity and the dependence of growth rate on the deposition temperature. All films were partly crystalline in their as-deposited state. Zirconium oxide contained cubic and tetragonal phases of ZrO2, while the manganese oxide was shown to consist of cubic Mn2O3 and tetragonal Mn3O4 phases. All the films exhibited nonlinear saturative magnetization with hysteresis, as well as resistive switching characteristics.
    Palabras Clave
    Atomic layer deposition
    Deposición de capas atómicas
    Thin films
    Láminas delgadas
    Magnetic materials
    Materiales magnéticos
    Resistive switching
    Conmutación resistiva
    ISSN
    1361-6528
    Revisión por pares
    SI
    DOI
    10.1088/1361-6528/abfee9
    Patrocinador
    Fondo Europeo de Desarrollo Regional (projects TK134 and TK141)
    Ministerio de Economía, Industria y Competitividad (project TEC2017-84321-C4-2-R)
    Estonian Research Agency (projects PRG4 and PRG753)
    Version del Editor
    https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6528/abfee9
    Propietario de los Derechos
    © 2021 IOP Publishing
    Idioma
    eng
    URI
    http://uvadoc.uva.es/handle/10324/46598
    Tipo de versión
    info:eu-repo/semantics/acceptedVersion
    Derechos
    openAccess
    Aparece en las colecciones
    • GCME- Artículos de revista [57]
    Mostrar el registro completo del ítem
    Ficheros en el ítem
    Nombre:
    Atomic-layer-deposited-nanolaminates.pdf
    Tamaño:
    960.9Kb
    Formato:
    Adobe PDF
    Thumbnail
    Visualizar/Abrir
    Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 InternacionalLa licencia del ítem se describe como Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 Internacional

    Universidad de Valladolid

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